Ähnlich wie für die Temperatur gelten auch für die benötigte Luftfeuchtigkeit starke speziesspezifische Unterschiede. Abhängig von den natürlichen Gegebenheiten im Herkunftsgebiet sollte ein Terrarienbesitzer stets bemüht sein, sowohl die jahreszeitlichen als auch die täglichen Schwankungen möglichst genau zu imitieren. Informationen hierzu lassen sich heutzutage nicht nur der Fachliteratur finden, sondern sind auch einfach online diversen Klimatabellen der entsprechenden Regionen zu entnehmen.
Dementsprechend benötigen natürlich tropische Arten eine Luftfeuchtigkeit von fast 100%, während in trockenen Gebieten vorkommende Spezies eher 30 – 40% brauchen. Zu beachten ist hierbei jedoch oft ein unterschiedliches Mikroklima von Erdoberfläche, Höhlen oder anderen Rückzugsorten. Bei Abweichungen der benötigten Luftfeuchtigkeit sowohl nach oben als auch nach unten kann es schnell zu schwerwiegenden Erkrankungen wie Dermatitiden, Lungenentzündungen oder Pilzbefall kommen. Wichtig ist daher eine gute Ventilation, um länger stehende feuchte Luft zu vermeiden und für einen regelmäßigen Austausch zu sorgen.
Um die benötigte Luftfeuchtigkeit zu erreichen gibt es zahlreiche Methoden. Die einfachste ist das manuelle Besprühen des Terrariums mit einer handelsüblichen Sprühflasche. Dies ist jedoch nicht sehr präzise und meist hält die erreichte Luftfeuchtigkeit nicht lange an, was je nach gehaltener Tierart nicht von Nutzen ist. Zudem ist diese Methode stark von der betreuenden Person abhängig. Ein Besatz des Terrariums mit natürlichen Pflanzen hilft deutlich, ein möglichst naturnahes Klima zu schaffen und längerfristig zu halten. Auch größere Wasserbecken (auch beheizt) wirken unterstützend. Mittels automatischer Beregnungs- oder Verneblungsanlage lässt sich die Luftfeuchtigkeit systematisch und unabhängig von menschlichem Eingreifen beispielsweise per Zeitschaltuhr regeln.
Gerade tropische Echsen bedürfen einer konstant hohen Luftfeuchtigkeit und oft auch regelmäßiger Flüssigkeit von oben. Bei diesen Anlagen müssen jedoch die regelmäßige Wartung und Reinigung eingeplant werden, damit sich dort keine unerwünschten Keime sammeln oder es zu Fehlern in der Technik kommt.